四川遠(yuǎn)為芯途半導(dǎo)體科技有限公司

展位號(hào)：T-043-1

由中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)和中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院聯(lián)合主辦，北京賽迪出版?zhèn)髅接邢薰境修k的第二十二屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體博覽會(huì)（IC China 2025），已定于2025年11月23—25日在北京國(guó)家會(huì)議中心盛大啟幕。本屆博覽會(huì)秉持“集合全行業(yè)資源 成就大產(chǎn)業(yè)對(duì)接”理念，致力于搭建覆蓋半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)全鏈條的一站式對(duì)接平臺(tái)。

四川遠(yuǎn)為芯途半導(dǎo)體科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“遠(yuǎn)為芯途”），依托江蘇南通遠(yuǎn)景智能裝備有限公司的雄厚產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，于2024年作為重點(diǎn)引進(jìn)項(xiàng)目落戶四川省成都市經(jīng)開區(qū)。公司致力于建設(shè)西南地區(qū)規(guī)模最大、技術(shù)最先進(jìn)的濕法制程裝備及工藝一體化研發(fā)制造基地。

遠(yuǎn)為芯途集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售及服務(wù)于一體，專注于為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)客戶提供先進(jìn)的工藝裝備解決方案。公司核心產(chǎn)品線涵蓋單片及槽式濕法清洗設(shè)備、電鍍?cè)O(shè)備、涂膠顯影設(shè)備以及供液系統(tǒng)設(shè)備等關(guān)鍵制程裝備。

遠(yuǎn)為芯途在清洗與霧化技術(shù)領(lǐng)域持續(xù)創(chuàng)新，開發(fā)了AI輔助的介尺度繞流清洗方案。該方案嘗試通過(guò)多參數(shù)優(yōu)化模型提升工藝穩(wěn)定性，目前測(cè)試數(shù)據(jù)顯示兆聲波控制精度可達(dá)±0.1 rpm，顆粒去除率（PRE）在部分應(yīng)用場(chǎng)景中達(dá)到99.5%；公司獨(dú)家掌握高粘液體薄膜射流超細(xì)霧化技術(shù)專利群，率先實(shí)現(xiàn)常溫IPA干燥與直寫式涂膠裝備的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。

槽槽式清洗設(shè)備：可高效去除2、4、5、6、8、12 英寸晶圓表面的有機(jī)物、氧化層、顆粒及金屬，具備 1 籃 / 批或 2 籃 / 批（每籃 25 片）的處理能力，槽體集成循環(huán)、過(guò)濾、加熱、超聲、兆聲、拋動(dòng)及干燥功能，搭配兆聲波清洗與 IPA 干燥技術(shù)，能輕松達(dá)成優(yōu)良驗(yàn)收指標(biāo)，為半導(dǎo)體制造過(guò)程中的晶圓潔凈度提供可靠保障。

END