拓荊科技股份有限公司

展位號：A1-09

公司簡介：拓荊科技股份有限公司成立于2010年4月，是國家高新技術企業，主要從事半導體專用設備的研發、生產、銷售與技術服務。公司多次獲評中國半導體行業協會授予的“中國半導體設備五強企業”稱號。公司在北京、上海、海寧、沈陽和美國及日本成立子公司。

主要產品：PECVD 設備、ALD 設備、SACVD 設備、HDPCVD 設備、Flowable CVD 設備、先進封裝設備等。

網址：http://www.piotech.cn

無錫芯譜半導體科技有限公司

展位號：A1-38

公司簡介：公司成立于2013年3月，產品應用于集成電路/功率器件/碳化硅/砷化鎵/化合物/傳感器等等鍍膜領域，自成立以來，獲得了高新技術企業，江蘇省A級納稅企業等榮譽；申請了多項軟著及專利，完成了9001質量體系，CE認證。

主要產品：高端電子束鍍膜機VATECH50/VATECH80/VATECH100;WJ999/WJ1000化學氣相沉積設備等。

網址：http://www.wuxivatech.com/

研微（江蘇）半導體科技有限公司

展位號：A1-66

公司簡介：公司總部位于無錫，凝聚了全球薄膜沉積設備領域頂尖人才的跨國研發團隊，公司專注于高端ALD、PECVD以及特色外延設備技術，生產具有自主知識產權且具備國際競爭力的產品。

主要產品：Thermal ALD、PEALD、PECVD、硅外延、SiC外延、選擇性刻蝕設備等。

網站：https://www.psrsemi.com

博頓光電科技有限公司

展位號：A1-13

公司簡介：“博頓光電”是一家專業從事新型離子源和離子束設備關鍵技術研發、設計和制造的創新型高科技企業。公司專注于高性能離子源、離子束設備、離子束微納加工技術的研發。產品廣泛應用于離子束濺射、離子束蝕刻、離子束輔助、離子束拋光、離子束清洗等納米級、原子級超高精密加工技術場景。

主要產品：各類高性能離子源（RF射頻離子源、矩形射頻離子源、中空陰極霍爾離子源、IBF專用離子源、其他特種離子源）等；離子束微納加工設備（離子束刻蝕設備、離子束濺射鍍膜設備及定制化離子束微納加工設備解決方案）等。

網址：https://www.ibdtec.cn/

江蘇天芯微半導體設備有限公司

展位號：A3-112

公司簡介：天芯微（ASEL）成立于2019年8月，致力于半導體前道關鍵工藝設備的研發、制造和應用，為全球客戶提供高端半導體設備和服務。

主要產品：減壓外延設備、常壓外延設備、刻蝕設備等。

網址：https://www.alphasemi.cn/

無錫先為科技有限公司

展位號：A3-112

公司簡介：無錫先為科技有限公是一家致力于化合物半導體外延設備的研發、制造與銷售的創新型和科技型企業，為全球客戶提供高端化合物半導體外延設備與服務。

主要產品：GaN MOCVD外延設備、SiC Epi外延設備等。

網址：https://www.leadprotech.com/

江蘇元夫半導體科技有限公司

展位號：A3-112

公司簡介：江蘇元夫半導體科技有限公司是先導集團在半導體產業布局的關鍵企業，為全球客戶提供涵蓋激光微加工系統、全自動減薄設備、化學機械拋光(CMP)設備及配套耗材的全棧式解決方案。作為全球領先的先進封裝工藝解決方案商，元夫通過工藝參數智能耦合與制程協同創新，為全球客戶構建覆蓋晶圓級封裝、異構集成等先進制程的端到端服務體系。

主要產品：全自動研磨&貼膜撕貼一體機 、12吋雙軸晶圓減薄設備 、全自動晶圓激光隱切設備 - SDBG 、全自動晶圓激光開槽/全切設備 、全自動研磨拋光&貼膜撕膜一體機等。

網址：https://www.leadlap.com/

蘇州緯旭智能裝備有限公司

展位號：A3-149A

公司簡介：蘇州緯旭智能裝備有限公司(WISH)是一家專注于半導體核心量檢測設備國產替代的研產銷一體化技術型企業。公司總部位于江蘇省蘇州市吳江區，毗鄰長三角半導體產業集群，擁有占地7000平方米現代化無塵車間及專屬研發制造基地，致力于成為全球半導體核心量檢測設備領域領軍品牌。

主要產品：晶圓宏觀檢查設備、晶圓缺陷檢查設備、全自動AI顯微設備、3D輪廓儀、平坦度量測儀、關鍵尺寸掃描電子顯微鏡等。

網址:http://www.szwishai.com

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