在半導體制造邁向3nm/2nm節點的進程中，先進X射線技術正成為突破工藝極限的"第三只眼"。從納米級缺陷檢測到原子級材料分析，X射線以無損、高分辨、全維度的獨特優勢，為半導體研發與制造提供關鍵質量洞察。

上海颶銳儀器有限公司

上海颶銳儀器有限公司負責偲格儀器的全國銷售。偲格儀器聚焦于先進X射線技術的研發，團隊成員來自國際知名儀器公司和國內外一流大學研究所，碩士和博士占比超過60%。我們有超過20年高端儀器研發銷售維護經驗，主要產品有X射線源，X射線吸收譜儀，X射線熒光光譜儀和X射線顯微鏡。

核心產品Apex XCT 是一種革命性的三維X射線計算機斷層掃描(XCT)系統，尤其針對大型板狀樣品的成像進行了特殊優化，可對先進封裝樣品、印刷電路板樣品(PCB）、手機和晶圓進行缺陷和故障分析。

對于12英寸TGV/TSV樣品，該系統可在數分鐘內獲得亞微米空間分辨率的三維圖像，檢測精度可以提高5倍以上，檢測效率提升10-20倍。

高通量亞微米分辨率三維X射線CT

產品簡介：在幾分鐘內完成亞微米空間分辨率的三維掃描和成像 ? 消除傳統CT成像的金屬條狀偽影，可提供清晰的樣品橫截面視圖，以便于更好地進行圖像分割和缺陷識別 ? 非常適合大型板狀樣品的高分辨無損三維成像，尤其是電路板(PCB)、軟包電池和晶圓等樣品。

300nm空間分辨率三維X射線顯微鏡

產品簡介：第一臺真正具有300nm空間分辨率的無透鏡納米X射線顯微鏡 ? 即使在大工作距離(對于較大的樣品和原位實驗樣品)條件下依然能夠保持亞微米分辨率 ? 從金屬、半導體、地質到低密度材料和生物樣品均能實現最佳襯度。

H系列X射線吸收譜系統

產品簡介：達到同步輻射光源線站元素電子態/化學態分析能力 ? 集成X 射線吸收近邊結構(XANES)和擴展X 射線吸收精細結構(EXAFS) ? 高性能XAS適用于低濃度NMC電池，鑭系元素和5d催化劑等困難應用 ?具備吸收模式和透射模式，適用于高含量到<0.5% wt 含量元素分析。

高分辨率X射線熒光分析顯微鏡

產品簡介：具備真空環境，可對 B 元素及以上全元素采集；對含有C、O、N等輕元素的有機物質檢測靈敏度達數個ppm~100 ppm量級 ? 檢測靈敏度是SEM-EDS的1000倍以上，分析薄膜樣品檢測下限可達亞埃級膜層厚度 ? 化學成像空間分辨率優于3~5微米(μm)，檢測速度最快可達5毫秒/點 ? 樣品臺可傾轉，可有效去除衍射峰 ? 專用軟件模塊適用于半導體晶圓及器件和礦物學，具有重量百分含量的定量分析功能。

9月10-12日，颶銳儀器將在SEMI-e深圳國際半導體展暨2025集成電路產業創新展與大家面對面交流，展位號：13L28

SEMI-e深圳國際半導體展暨2025集成電路產業創新展匯聚集成電路龍頭企業參展

SEMI-e深圳國際半導體展暨2025集成電路產業創新展將于2025年9月10-12日在深圳國際會展中心（寶安新館）開幕。

目前展會已經吸引了超1000家全球優質展商，包括紫光展銳、中興、兆芯、兆易創新、北京君正、艾為、炬芯、蘇州國芯、紫光同創、華大九天、芯原微、中芯國際、華虹半導體、華潤微、長存、長鑫、武漢新芯、通富微電、英諾賽科、比亞迪半導體、瑞能半導體、北方華創、中微、盛美、華海清科、拓荊、芯源微、中科飛測、蘇州天準、華卓精科、芯上微裝、上海御微、硅產業集團、江豐電子、安集微、上海新陽、中船特氣、南大光電、材料創新聯合體、富創精密、沈陽科儀、新松半導體、京儀自動化等大多數核心企業，涵蓋國內集成電路產業鏈各個細分領域。展會特設IC 制造、晶圓設備、封測設備、核心零部件及材料等制造與供應鏈專區，覆蓋終端、設計、制造、封測、設備、材料、EDA/IP、零部件的全產業鏈生態。

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